Pelapis

Balzers ZH620

Kondisi: baik (bekas), Mogelijkheid: 2x Pfeiffer Classic 590 beschikbaar! Prijs: EUR 99.500 per stuk. Configuratie Coater 1: - 2x Pfeiffer TPH 2301 (2300 l/s) volledig gereviseerd - Pfeiffer DCU 600 - 2x VAT smoorklep 64048-pe48-ads2/0001 - 1x Pfeiffer PKR251 Full Range sensor - Pfeiffer TPR280 voor voorvacuüm - Pfeiffer DUO 120 voorpomp (120 m³/u) - Vacuümkamer voor substraatdiameter rond 840 mm - Inclusief afscherming en reserve-afschermingsset - 2x kijkvenster - Diverse doorvoeringen - Roterende doorvoering incl. thermokoppel - Infraroodverwarming - Waterverdeelstuk inclusief kleppen - Vacuümkleppen voor ventileren, afpompen, etc. Opmerking: Momenteel wordt het systeem gebruikt voor weerstandverdamping (geen boats beschikbaar). De huidige PLC en E-kast zijn vanwege IP verwijderd. Indien gewenst kan ons bedrijf Orange Thin Films een volledige revisie uitvoeren met Labview-automatisering en nieuwe processen (zoals E-beam, sputteren, verdampen, etc.). Gtsdpshwv Tfjfx Adtst Configuratie Coater 2: - 2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (horizontale turbo 2200 l/s) volledig gereviseerd - Pfeiffer DCU 600 - 2x VAT smoorklep 64048-pe48-ads2/0001 - 1x Pfeiffer PKR251 Full Range sensor - Pfeiffer TPR280 voor voorvacuüm - Pfeiffer DUO 120 voorpomp (120 m³/u) - Vacuümkamer voor substraatdiameter rond 840 mm - Inclusief afscherming en reserve-afschermingsset - 2x kijkvenster - Diverse doorvoeringen - Roterende doorvoering incl. thermokoppel - Infraroodverwarming - Waterverdeelstuk inclusief kleppen - Vacuümkleppen voor ventileren, afpompen, etc. Opmerking: Momenteel wordt het systeem gebruikt voor weerstandverdamping (geen boats beschikbaar). De huidige PLC en E-kast zijn vanwege IP verwijderd. Indien gewenst kan ons bedrijf Orange Thin Films een volledige revisie uitvoeren met Labview-automatisering en nieuwe processen (zoals E-beam, sputteren, verdampen, etc.).

Tahun pembuatan: 1989, Kondisi: siap digunakan (bekas), Voor het neerslaan van dunne metalen lagen in het nanometerbereik, bestaande uit verschillende materialen, met chroom- en koperkathodes, één kamer, draaiend mandje, voorpompenset, turbopomp, voorziening voor warm- en koudwater voor het verwarmen en koelen van de installatie. Koelinstallatie: L&R Kältetechnik WHK-15-W, bouwjaar: 2004. Hoogspanningsbron: ADS Maris. Gjdpfx Aohwm Iiodtstt Besturingskast met Siemens-besturing, complete retrofit van de besturing, bouwjaar: 2004.